真空腔體

容量

820 l

內(nèi)部尺寸

900 mm

高度

1100 mm

Door Opening

W x H 900 x 1100 mm

整機(jī)漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最終壓力

<5x10-7 mbar

高真空泵組(標(biāo)準(zhǔn)型)

分子泵

Hipace 2300

隔膜泵

旋片泵

DUO 125

真空測(cè)量

全量程真空計(jì)

電源

電壓

3 x 400 V

頻率

50/60 HZ

水冷

Chamber Usage approx (a)

1000 l/h

Pump Set Usage approx (a)

15 l/h

進(jìn)氣溫度

25 °C

壓力

4 – 6 bar

In- and Outlet Nipple

3/4"

Hot Water

Chamber Usage approx (a)

700 l/h

進(jìn)氣溫度

70 °C

壓力

4 – 6 bar

In- and Outlet Nipple

3/8"

尺寸

占地面積

3.8 m²

L x W x H

1.8 x 2.1 x 1.95 m

重量

2000 kg

最大環(huán)境溫度

40 °C