渦輪分子泵應用于低溫掃描隧道顯微鏡 LTSTM
掃描隧道顯微鏡 STM 是根據(jù)量子力學中的隧道效應原理, 通過探測固體表面原子中電子的隧道電流來分辨固體表面形貌的新型顯微裝置. 低溫掃描隧道顯微鏡 LT-STM 真空互聯(lián)除了具有納米分析能力外,它還可以在 4到 300 K 的溫度范圍內(nèi)對原子和分子進行精確操作.

低溫掃描隧道顯微鏡 LT-STM 具有最長的 LHe 保持時間, 極低的漂移率和出色的穩(wěn)定性dz<1 pm, 最先進的光譜和原子操縱可以在低溫下對金屬, 半導體, 絕緣體, 超導體和碳進行.

LT-STM 系統(tǒng)需要在超高真空環(huán)境中進行研究, 對真空度要求及其高, 真空可到 1E-10mbar, 需要用前級泵, 分子泵, 離子泵, 鈦泵等組合使用來達到要求, 同時分子泵需要低振動, 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩(wěn)定性以保證晶體的生長和后期的探測分析.

上海伯東低溫掃描隧道顯微鏡 LT-STM 客戶案例: 某搭建 LT-STM 真空互聯(lián)系統(tǒng)公司, 采購 5套渦輪分子泵 HiPace 300 用于給裝置提供超高真空.HiPace 300 主要技術(shù)參數(shù)如下:

抽速 L/S	N2: 260,  H2: 220, He: 255, Ar: 255
全轉(zhuǎn)速時氣體流量 mbar l/s	N2: 14, H2: > 14, He: 20, Ar:7
壓縮比	N2: >1X1011, H2: 9X105 He: >1X108, Ar: >1X1011
聲壓水平	≤ 50 dBA
最大功率消耗	300 W
最大電流	12.5 A
安裝方向	任意方向
允許輻射的最大熱功率	2.4 W
最大允許磁場	5.5 MT
轉(zhuǎn)速 ± 2 %	60000 min-1

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 3000 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復合軸承分子泵和五軸磁懸浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認證. 特別適用于質(zhì)譜分析, 電子顯微術(shù), 測量技術(shù), 粒子加速和等離子體物理方面的應用. 除了用于分析, 真空工藝和半導體技術(shù)外, 還可用于真空鍍膜, 研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域. 推薦分子泵典型應用 >>

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