上海 渦輪分子泵應(yīng)用于掃描電鏡 SEM閱讀數(shù): 10889
渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
上海伯東德國 Pfeiffer HiPace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在掃描電子顯微鏡 SEM 設(shè)備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實(shí)現(xiàn)成像. 空氣的存在會使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利于保持樣品室的清潔度; 電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時需要在真空環(huán)境下, 平時還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個真空室.
HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和高端質(zhì)譜行業(yè)量身定做的產(chǎn)品, 分子泵低振動和低磁場設(shè)計, 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設(shè)備里.
Pfeiffer HiPace Plus 渦輪分子泵目前在售型號 HiPace 300 Plus 和 HiPace 700 Plus
以 HiPace 300 舉例,主要技術(shù)參數(shù)如下:
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型號 |
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允許環(huán)境磁場 |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
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最大允許磁場 |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
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噪音 |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
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安裝方式 |
任意位置安裝 |
垂直,法蘭向上 |
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進(jìn)氣口 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
DN 100 ISO-F |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
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極限真空度 |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
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Ar 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
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H2 抽速 |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
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He 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
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N2 抽速 |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
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Ar 壓縮比 |
> 1X1011 |
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H2 壓縮比 |
9X105 |
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He 壓縮比 |
> 1X108 |
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N2 壓縮比 |
> 1X1011 |
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分子泵全速時 Ar 氣體流量 |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
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分子泵全速時 He 氣體流量 |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
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分子泵全速時 H2 氣體流量 |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
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分子泵全速時 N2 氣體流量 |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
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Ar 前級真空 |
25 hPa |
25 hPa |
25 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
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H2 前級真空 |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
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He 前級真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
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N2 前級真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
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Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>
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