上海 Thermonics 超低溫冰水機(jī)閱讀數(shù): 11423
Thermonics 超低溫冰水機(jī)
上海伯東美國 inTEST 旗下 Thermonics® 超低溫冰水機(jī), 設(shè)計(jì)低溫 -80.0°C 和超低溫 -100.0°C 的冷卻, 可以匹配各種熱交換液體媒介, 標(biāo)準(zhǔn)或定制機(jī)型. 低溫冰水機(jī)單級壓縮機(jī), 級聯(lián)冷卻, 冷凝器水冷或風(fēng)冷; 可編程的觸摸屏, 支持遠(yuǎn)程通訊. 低溫冰水機(jī)方便移動(dòng)操作, 滿足高容量的制冷需求, 適用于航天, 汽車, 能源, 工業(yè)化學(xué), 半導(dǎo)體等行業(yè).
Thermonics 超低溫冰水機(jī): 精密溫度控制, 適用于半導(dǎo)體前端和后端的應(yīng)用, 例如半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備降溫
. 最高冷卻功率 30 kW
. 溫度范圍: -100 至 300 °C, 標(biāo)準(zhǔn)或定制機(jī)型
. 適合各種熱交換流體
. 風(fēng)冷和水冷
. 導(dǎo)熱流體壓力和流量控制
. ISO 9001:2015 和 ITAR 認(rèn)證
. 可編程的觸摸屏
Thermonics 超低溫冰水機(jī), 風(fēng)冷型
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型號 |
溫度范圍 |
精度 |
冷卻能力 kW @ 20°C 供水 |
泵抽速 |
資料下載 |
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25 |
0 |
-20 |
-40 |
-45 |
-60 |
-70 |
-80 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
6.6 |
6.6 |
4.0 |
1.1 |
0.5 |
- |
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15 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
9.5 |
9.5 |
5.4 |
1.9 |
0.7 |
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23 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
14.5 |
14.5 |
9.6 |
2.7 |
1.2 |
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38 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
3.9 |
3.9 |
3.6 |
3.1 |
3.0 |
2.7 |
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11 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.6 |
4.6 |
3.7 |
3.5 |
3.4 |
3.0 |
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23 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
6.7 |
6.7 |
6.1 |
5.3 |
5.1 |
4.6 |
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30 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
2.3 |
2.3 |
2.2 |
2.1 |
2.0 |
1.8 |
1.5 |
0.5 |
11 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
3.4 |
3.5 |
3.1 |
2.8 |
2.7 |
2.3 |
2.1 |
1.7 |
23 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
5.0 |
5.1 |
4.5 |
3.9 |
3.8 |
3.3 |
3.1 |
2.4 |
30 |
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Thermonics 超低溫冰水機(jī), 水冷型
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型號 |
溫度范圍 |
精度 |
冷卻能力 kW @ 20°C 供水 |
泵抽速 |
資料下載 |
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25 |
0 |
-20 |
-40 |
-45 |
-60 |
-70 |
-80 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
8.0 |
8.0 |
4.6 |
1.1 |
0.6 |
- |
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15 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
10.0 |
10.0 |
6.0 |
2.0 |
1.0 |
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23 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
15.5 |
15.5 |
10.0 |
3.1 |
1.4 |
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38 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.0 |
4.0 |
3.7 |
3.2 |
3.1 |
2.8 |
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11 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.7 |
4.7 |
4.3 |
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3.6 |
3.1 |
1.1 |
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23 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
6.8 |
6.8 |
6.2 |
5.4 |
5.2 |
4.7 |
4.0 |
- |
30 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
2.5 |
2.5 |
2.3 |
2.1 |
2.0 |
1.8 |
1.6 |
0.6 |
11 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
3.5 |
3.5 |
3.2 |
2.9 |
2.8 |
2.4 |
2.2 |
1.8 |
23 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
5.1 |
5.1 |
4.5 |
4.0 |
3.9 |
3.4 |
3.2 |
2.5 |
30 |
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* 所有水冷和風(fēng)冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
* -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導(dǎo)液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導(dǎo)液
* 如果需要使用其他類型熱傳導(dǎo)液或流速, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東
Thermonics 超低溫冰水機(jī)典型應(yīng)用
1. 半導(dǎo)體行業(yè): 在離子注入機(jī)中冷卻硅片夾
2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進(jìn)入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
3. 科研領(lǐng)域: 在一個(gè)壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊
Thermonics® 制冷機(jī)主要應(yīng)用于能源, 化學(xué)工藝, 工業(yè)和半導(dǎo)體制造, 例如如下:
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制冷機(jī)類型 |
冷卻方式 |
Max.Capacity |
溫度范圍 |
導(dǎo)熱介質(zhì) |
應(yīng)用市場 |
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傳導(dǎo)液制冷 |
水冷 |
5kW @ -20°C |
-40 至 25°C |
Syltherm XLT |
化學(xué) |
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傳導(dǎo)液制冷 |
水冷 |
2.5kW @ -60°C |
-60 至 25°C |
Syltherm XLT |
化學(xué) |
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傳導(dǎo)液制冷 |
風(fēng)冷 |
270W @ -50°C |
-50 至 120°C |
HFE-7500 |
半導(dǎo)體 |
|
傳導(dǎo)液制冷 |
風(fēng)冷 |
300W @ -80°C |
-80 至 200°C |
Syltherm XLT |
國防 |
|
傳導(dǎo)液制冷 |
風(fēng)冷 |
3KW @ -60°C |
-60 至 20°C |
KRYO 60 |
能源 |
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氣體制冷 |
風(fēng)冷 |
-100 °C @ 8 scfm |
-100 °C至空氣 |
清潔,干燥空氣 |
工業(yè) |
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傳導(dǎo)液制冷 |
水冷 |
2.2KW @ 20°C |
-50 至 40 °C |
HFE-7500 |
半導(dǎo)體 |
|
傳導(dǎo)液制冷 |
水冷 |
12KW @ 15°C |
-15 至 20 °C |
PGW (25%) |
半導(dǎo)體 |
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氣體制冷 |
風(fēng)冷 |
-90°C @ 18scfm |
-90 至 225 °C |
清潔,干燥空氣 |
汽車 |
|
傳導(dǎo)液制冷 |
風(fēng)冷 |
1.5 KW @ -30 °C |
-40 至 50 °C |
Syltherm XLT |
工業(yè) |
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傳導(dǎo)液制冷 |
水冷 |
3.3KW @ -50°C |
-50 至 20 °C |
Syltherm HF |
汽車 |
Thermonics 低溫冰水機(jī)原理:
.jpg)
Thermonics 超低溫冰水機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
前端 Front End
離子注入 Ion Implant
蝕刻設(shè)備 Etch: 降溫晶圓,
沉積設(shè)備 Deposition
后端 Back End
各種測試處理 Final Test Handlers:
舉例: Thermonics 冰水機(jī)將制冷液體泵入測試設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體器件的冷態(tài)測試, Thermonics 冰水機(jī)可與各類半導(dǎo)體測試設(shè)備聯(lián)用.
美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機(jī)和 -120°C 超低溫冰水機(jī)用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機(jī), 超低溫氣體冰水機(jī)和超低溫液氮, 液態(tài)二氧化碳制冷機(jī). Thermonics 低溫冰水機(jī)可選水冷或氣冷, 并與各種導(dǎo)熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝?yán)鋮s需求, 廣泛應(yīng)用于化學(xué), 能源, 半導(dǎo)體, 汽車等領(lǐng)域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機(jī)中國總代理.