渦輪分子泵應(yīng)用于超高真空互聯(lián)裝置
超高真空互聯(lián)系統(tǒng)一般是通過 RDC 傳樣裝置將不同的超高真空腔體連接起來, 例如: 快速進(jìn)樣室, 樣品生長腔, 襯底制備腔, 電子結(jié)構(gòu)分析腔等, 傳樣過程中保證超高真空量級(jí)的真空增量, 超高真空互聯(lián)系統(tǒng)最多可以連接 8個(gè)腔體左右, 極限真空好于 1E-10mbar！

超高真空互聯(lián)裝置需要在超高真空環(huán)境中進(jìn)行, 對(duì)真空度要求及其高, 真空可達(dá) 1E-10mbar,一般需要用前級(jí)泵, 分子泵, 離子泵, 鈦泵等組合使用來達(dá)到要求, 渦輪分子泵需要低振動(dòng), 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩(wěn)定性以保證晶格的生長和后期的探測分析. 上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200 廣泛應(yīng)用于超高真空互聯(lián)裝置中!

超高真空互聯(lián)系統(tǒng)會(huì)以 ARPES, STM, MBE, UPS, XPS 的聯(lián)用為主.下圖為上海伯東某研發(fā)生產(chǎn)各類高真空系統(tǒng)客戶實(shí)例圖:

1. ARPES 角分辨光電子能譜, 利用光電效應(yīng)研究固體的電子結(jié)構(gòu), 當(dāng)一束光照射在樣品表面,當(dāng)入射光頻率高于特定閾值 (功函數(shù))時(shí), 表面附近的電子會(huì)脫離樣品, 成為自由電子, 這就是光電效應(yīng). 光電子在真空飛行的過程中, 被一個(gè)接受角度很小的能量分析器收集計(jì)數(shù).

上海伯東 ARPES 光束線客戶案例: 某光源 ARPES 光束線真空系統(tǒng), 真空系統(tǒng)是同步輻射光束線的重要組成部分, 只有在真空環(huán)境中運(yùn)行, 光學(xué)元件才能夠?qū)⑼捷椛涔鈧鬏數(shù)皆囼?yàn)站, 真空系統(tǒng)的作用就是獲得并維持合理的真空度, 保證光束線的穩(wěn)定運(yùn)行. 此系統(tǒng)搭配伯東 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空規(guī).


2. 分子束外延 MBE 是一種晶體生長技術(shù), 首先將待成長的芯片放置在超高真空腔體中（~10-10Torr）, 和將需要生長的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中, 當(dāng)爐溫升至一定溫度時(shí), 爐中的材料會(huì)以原子束或分子束的形式蒸發(fā)出來, 此時(shí)基板也被加熱至一適當(dāng)?shù)臏囟? 分子束射至基板時(shí), 就會(huì)與基板表面的原子結(jié)合而生長出極薄的, 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu).

3. 掃描隧道顯微鏡 STM 是根據(jù)量子力學(xué)中的隧道效應(yīng)原理, 通過探測固體表面原子中電子的隧道電流來分辨固體表面形貌的新型顯微裝置.

上海伯東 MBE 與 STM 聯(lián)用客戶案例: 某大學(xué)自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng), 經(jīng)過伯東推薦, 采用 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 和渦輪分子泵 HiPace 80 并搭配美國 HVA 真空閘閥成功分析生長晶體表面結(jié)構(gòu)


上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 3000 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸磁懸浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認(rèn)證. 特別適用于質(zhì)譜分析, 電子顯微術(shù), 測量技術(shù), 粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用. 除了用于分析, 真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外, 還可用于真空鍍膜, 研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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