超薄納米涂層等離子表面處理設(shè)備
上海伯東代理比利時(shí) Europlasma 等離子機(jī), 真空條件下, 通過工藝 Nanofics ® 或 PlasmaGuard® 在材料淺表面實(shí)現(xiàn)低壓等離子表面聚合或者原子層沉積, 從而賦予材料新的功能, 不影響材料本身的性能, 對(duì)三維結(jié)構(gòu)以及復(fù)雜形狀的材料表面都可實(shí)現(xiàn)均勻性涂覆, 形成疏水, 疏油, 親水等功能的超薄納米涂層, 厚度從 5nm 至 500nm 不等. 典型應(yīng)用: 微流控芯片內(nèi)流道表面處理.

超薄納米涂層等離子表面處理設(shè)備型號(hào):

型號(hào)	腔體體積	腔體尺寸	托盤數(shù)量	托盤尺寸	托盤可用面積	前驅(qū)體數(shù)量
Junior Nanofics®	50L	500mm x 400mm x 250mm	1	360mm x 360mm x 40mm	0.12㎡	1
CD 600 Nanofics®	282L	900mm x 570mm x 550mm	3	765mm x 512mm x 40mm	0.39m²	1
CD 1000 Nanofics®	490L	1000mm x 700mm x 700mm	3	858mm x 672mm x 40mm	0.58m²	1
CD 600 PlasmaGuard®	282L	900mm x 570mm x 550mm	3	765mm x 512mm x 40mm	0.39m²	3
CD 1000 PlasmaGuard®	490L	1000mm x 700mm x 700mm	3	858mm x 672mm x 40mm	0.58m²	3
CD 1836 Nanofics®	1836L	1600mm x 850mm x 1350mm	4（垂直）	760mm x 270mm x 1060mm	0.22m²（卡槽）	1

超薄納米涂層等離子表面處理設(shè)備設(shè)計(jì)
控制系統(tǒng): 工業(yè) PLC 與17英寸觸摸屏
過程與儀表圖(P&ID): 實(shí)時(shí)顯示設(shè)備狀態(tài)
用戶管理: 基于用戶級(jí)別的登錄, 對(duì)于操作員來說,工程師模式接入
配方管理: 配方數(shù)量不限, 工藝參數(shù)獨(dú)特
系統(tǒng)診斷功能: 用于故障處理和維護(hù)
報(bào)警管理: 系統(tǒng)對(duì)警報(bào)進(jìn)行管理并提醒操作人員
發(fā)電機(jī): 具有自動(dòng)負(fù)載匹配能力, 頻率 13.56 kHz
真空測(cè)量: 高質(zhì)量的真空測(cè)量設(shè)備
氣體管道: 多個(gè)氣體管道, 適用于各種工藝氣體 (O2, N2, Ar, CF4, He, H2 等)
氣體截止閥: 每條氣體管路上的截止閥, 防止泄漏
質(zhì)量流量控制器: 用于氣體控制的電子調(diào)節(jié)質(zhì)量流量控制器
節(jié)流閥: 自動(dòng)控制所需的壓力-流量比
洗滌系統(tǒng): 廢氣過濾
CE 認(rèn)證

上海伯東 Europlasma 等離子表面處理設(shè)備主要應(yīng)用
1. 薄膜過濾: 鋰電池行業(yè), 精密儀器等的疏水, 疏油涂層, 駐電極
2. 無紡布和功能性紡織物: 運(yùn)動(dòng)戶外產(chǎn)品的疏水, 疏油涂層
3. 可穿戴電子產(chǎn)品, 無線耳機(jī), 手環(huán), 手表, 助聽器和 PCB 元器件疏水涂層, 電子屏蔽涂層, 蝕刻, 清洗與活化
4. 醫(yī)療, 生命科學(xué)領(lǐng)域的微流控芯片疏水涂層, 醫(yī)用導(dǎo)管, 口罩, 針座活化, 人體植入, 細(xì)胞培養(yǎng)瓶活化. TC 處理.

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