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干式真空泵 A4X 系列
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導(dǎo)體、光伏等腐蝕性強(qiáng)的行業(yè)，干式真空泵抽速?gòu)?160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求，特殊的耐腐蝕工藝設(shè)計(jì)保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高，有效降低了企業(yè)成本。
干式真空泵 A4X 系列核心優(yōu)勢(shì)：
耐腐蝕設(shè)計(jì)，使用壽命長(zhǎng)
通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標(biāo)準(zhǔn)
特殊設(shè)計(jì)，避免真空泵發(fā)生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮?dú)獯祾唛y，耐粉塵
干式真空泵 A4X 系列應(yīng)用：
半導(dǎo)體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行業(yè)：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) |
A 124 H |
A 604 H |
A 1204 H |
A 204 H |
A 804 H |
A 1504 H |
A 1804 H |
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抽速 m3/h |
110 |
560 |
1150 |
160 |
700 |
1200 |
1700 |
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極限真空 |
2X10-2 |
2X10-4 |
9X10-4 |
5X10-2 |
2X10-3 |
2X10-3 |
2X10-3 |
|
極限真空 |
5X10-2 |
6X10-3 |
6X10-3 |
2X10-1 |
9X10-3 |
9X10-3 |
9X10-3 |
|
全轉(zhuǎn)速最大進(jìn)氣氣流 SLM |
80 |
60 |
55 |
150 |
100 |
100 |
70 |
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最大功率 KW |
1.5 |
1.9 |
2.3 |
1.8 |
2.2 |
2.6 |
2.6 |
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最大排氣壓力hPa |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
|
進(jìn)氣口 ISO-KF |
DN 50 |
DN 100 |
DN 160 |
DN 50 |
DN 100 |
DN 160 |
DN 160 |
|
重量 kg |
250 |
370 |
530 |
260 |
380 |
540 |
540 |
干式真空泵 A4X 系列抽速：
