氦質(zhì)譜檢漏儀半導體設(shè)備及材料檢漏應(yīng)用
真空設(shè)備在半導體行業(yè)中的應(yīng)用愈來愈廣泛，例如真空鍍膜設(shè)備（蒸發(fā)，濺射），干法雷設(shè)備（ICP,RIE,PECVD）,熱處理設(shè)備（合金爐，退火爐），摻雜設(shè)備（離子注入機等）這些真空設(shè)備作為半導體技術(shù)發(fā)展不可或缺的條件必將起到越來越重要的作用。上海伯東德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導體設(shè)備檢漏。
半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因：
1、半導體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；
2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；
3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。
4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。
綜上所述，上海伯東德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀在半導體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

半導體設(shè)備及材料檢漏方法：

半導體氦質(zhì)譜檢漏有兩種方法

1.真空法   2.吸槍法
上海伯東客戶某大型半導體廠商使用德國 Pfeiffer 吸槍便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 102 S檢漏。


吸槍便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 102 S 主要優(yōu)勢：
高靈敏度：1x10-7 mbar.l/s或0.1 ppm的氦氣。高水平的解決方案帶來高診斷性和高靈敏性的測試 
測試范圍廣：從0.1 ppm到100 %氦氣
氦質(zhì)譜檢漏儀快速反應(yīng)時間：一秒鐘內(nèi)（使用5 m/16 ft吸槍探頭）
快速的恢復時間
杰出的穩(wěn)定性：氦氣的信號穩(wěn)定性對小型漏點檢測十分關(guān)鍵。
氦質(zhì)譜檢漏儀3種示蹤氣體選擇：使氦氣(He3)與氫氣(H2)檢漏成為可能。
通過自動清零（忽略本底）功能使氦氣背景信號增強，確保氦氣信號始終保持在零以上。
卓越的特性加上電子時代的最新標準
語音分析器增添操作界面的功能
1號與2號燈絲獨立連接，方便分別更換。
氦質(zhì)譜檢漏儀便攜性：便于運輸（干泵系統(tǒng)）、所有附件均內(nèi)置在一個隔間，并可通過簡單連接進行操作。
使用方便：熟悉ASM102S的操作只需簡單的幾分鐘時間：自動校準、自動清零（忽略本底）功能使敏感度更高、氦信號直接讀出功能，無須操作者進行釋讀。

上海伯東主營產(chǎn)品：德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵；應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計，氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機等。