氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器, 又稱減壓閥門(mén), 是將高壓氣體降為低壓氣體, 并保持輸出氣體的壓力和流量穩(wěn)定不變的調(diào)節(jié)裝置. 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體管路或?qū)嶒?yàn)室壓力控制. 減壓器本身如果出現(xiàn)泄漏, 會(huì)直接導(dǎo)致高壓氣體泄漏, 一旦氣體屬于有毒有害氣體, 將導(dǎo)致嚴(yán)重的生產(chǎn)事故! 因此減壓器在出廠前需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的泄漏檢測(cè), 氦質(zhì)譜檢漏法與傳統(tǒng)泡沫法對(duì)比, 利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位, 定量漏點(diǎn), 在真空模式下, 可以顯示 1X10^-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于減壓閥檢漏

 
上海伯東減壓器檢漏客戶案例: 某公司生產(chǎn)減壓器, 主要用于半導(dǎo)體管路中氣體減壓, 調(diào)節(jié)氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 經(jīng)過(guò)伯東推薦, 最終選擇前級(jí)泵為干泵的移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

減壓器檢漏方法: 選用氦質(zhì)譜檢漏儀真空模式進(jìn)行檢漏, 減壓器直接與檢漏儀進(jìn)氣口相連, 用噴槍在懷疑有漏的地方進(jìn)行吹掃, 鑒于客戶信息保密, 更詳細(xì)的減壓器檢漏應(yīng)用案例, 歡迎撥打客服熱線: 021-5046-3511

上海伯東德國(guó) Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求! 檢測(cè)氣體: 4He, 3He, H2 最小檢測(cè)漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s 對(duì)氦氣的抽速: 10 l/s 前級(jí)泵抽速: 35 m3/h

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用推薦:

	半導(dǎo)體用配管配件檢漏 應(yīng)用于半導(dǎo)體廠務(wù)端高端不銹鋼管, 配件, 閥門(mén)和歧管, 產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 10-9 mar l/s. 采用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 進(jìn)行檢漏
	流量計(jì)檢漏 采用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)流量計(jì)的主體金屬外殼進(jìn)行檢漏, 外殼焊縫和接頭部位都需要進(jìn)行檢漏

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

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