高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo
上海伯東德國普發(fā) Pfeiffer 高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo 質量范圍可選 1-512 u, 測量速度 125 μs/u, 使用 PV MassSpec 軟件, 操作簡單. Pfeiffer HiQuad® Neo 可作為獨立設備集成在系統(tǒng)中, 適用于科研和各類分析系統(tǒng).  HiQuad® Neo 質譜分析儀模塊化設計, 根據(jù)實際需要可以自由選擇質量范圍, 離子源, 放大器, IO 接口等.

高精度氣體分析儀 Pfeiffer HiQuad® Neo 優(yōu)勢
模塊化設計
使用 PV MassSpec 軟件, 操作簡單
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性
靈敏度更高, 動態(tài)范圍大
測量速度快 125 μs/u。
簡單的系統(tǒng)集成 ( 通過 OPC-UA )
支持舊款 HiQuad® 升級為 HiQuad® Neo

質譜分析儀 HiQuad® Neo ( QMG 800 )基本組成
QMS 800: 機架控制單元與雜項板
QMH 800: 射頻發(fā)生器
QMA 400/430: 四級桿分析儀
EP 822: 前置放大器
PV MassSpec software: 操作軟件

質譜分析儀 HiQuad® Neo 技術規(guī)格

質量數(shù) u	1-300	1-512 *3
檢測極限 hPa	2X10-15	1X10-15
Ar 靈敏度,最低 *1) A/hPa	2X10-4	5X10-4
最大工作壓力 法拉第 hPa	1X10-4	1X10-4
最大工作壓力 SEV hPa	1X10-5	1X10-5
分壓比 SEV ppb	<1	<0.5
測量振動, 最小	125 μs/u – 60 s/u	125 μs/u – 60 s/u
分析儀	QMA 430	QMA 400
桿系統(tǒng), 材料/直徑 mm	不銹鋼 / 8	Mo / 8
高頻發(fā)生器 HF	QMH 800-3	QMH 800-5
測電計前置放大器	EP 822	EP 822
分析儀工作溫度 °C	150	150
分析儀烘烤溫度 °C	400	400
連接法蘭	DN 63 CF-F	DN 63 CF-F

*1) 偏轉單元中的法拉第, 單位分辨率, 帶磁鐵的交叉束離子源, 發(fā)射 1 mA
*2) 帶磁鐵, 最高 300°C
*3) 八小時內穩(wěn)定性 < 0.1％, 對于質量 40 和 41 u, 對鄰近質量的影響 < 0.1 ppm

質譜分析儀 HiQuad® Neo 應用
適用于更高精度要求和測量速度要求的 EUV 極紫外光刻的潔凈度驗證 , 科研和各類分析系統(tǒng).

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