Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷凍機
上海伯東代理 Polycold® MaxCool 2000 冷凍機是一種閉環(huán)低溫制冷系統(tǒng), 可提供高達 2,000 瓦的冷卻功率. 通過將水蒸氣凍結(jié)在低溫盤管或 V 形擋板等冷盤上來快速吸附占真空腔內(nèi)殘留氣體 65% 到 95% 的水汽. MaxCool 2000 冷凍機還適用于將物體冷卻至低溫, 例如半導(dǎo)體晶圓加工中使用的靜電吸盤.使用 MaxCool 冷凍機可以顯著減少抽氣時間并提高產(chǎn)品產(chǎn)量.

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵優(yōu)點:
1. 真空抽氣時間縮短 75%
2. 高效的抽水汽效率: 10,000 至 164,000 l/s
3. 產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
4. 在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力, 從而獲得更高質(zhì)量, 更好的附著力, 和多重沉積膜特性
5. 相對于液氮制冷 LN2, Polycold 冷凍機選用無毒, 環(huán)保型冷媒, 可循環(huán)使用
6. 通過電源管理最大限度地降低成本
7. 適用于各種工藝的高容量冷卻和加熱
8. 低溫冷凝真空系統(tǒng)中的水蒸氣, 抽速可達 164,000 l/s，真空度可達 3 x 10-9 torr（4 x 10-9 mbar）

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵主要技術(shù)參數(shù):

標準性能
最大負載: Watts	2000
抽水汽效率(理論值)：l/s	163,900
啟動壓力：atm	1
除霜時間：分鐘	4
低溫盤管, 連接管路
盤管表面面積：m2	1.1
單管路： 盤管直徑：mm 盤管長度：m	16 21.9
雙管路： 盤管直徑：mm 盤管長度：m	12 14.6
標準外部連接管長度：m	2.4
配套設(shè)施
冷卻水流量：rate l/min. 13 C? 18 C? 24 C? 29 C?	6.8 9.1 13.6 27.6
功率 kW 待機模式 制冷模式, 低負載 制冷模式, 最大負載	5.5 6.2 8.8
占地空間(最小)：m3	25
工作噪音(最大)：db	72

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 抽水汽效率：

Polycold 冷凍機應(yīng)用:
上海伯東 Polycold 冷凍機利用新型無毒環(huán)保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對比,冷媒可循環(huán)使用, 大大降低了企業(yè)成本. Polycold 冷凍機主要應(yīng)用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導(dǎo)體(晶圓加工)行業(yè).

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