氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體流量控制閥 MFC 檢漏
上海伯東德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀成功應(yīng)用于深圳某半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商, 此次共采購(gòu) 5臺(tái)德國(guó) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀,用于流量控制閥 MFC 檢漏.

流量控制閥 MFC 主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制. 流量控制閥 MFC 在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè), 特種材料學(xué)科, 化學(xué)工業(yè), 石油工業(yè)和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用.

伯東公司客戶(hù)主要生產(chǎn)流量控制閥 MFC, 由于產(chǎn)品的特殊性. 對(duì)密封性要求特別高，達(dá)5E-11 Pa m3/s，選用其他氦質(zhì)譜檢漏儀根本達(dá)不到實(shí)際生產(chǎn)測(cè)量要求, 或者生產(chǎn)效率特別低下，經(jīng)過(guò)實(shí)際論證, 最終確定選用上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀.

伯東公司德國(guó)普發(fā) Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 采用觸屏設(shè)計(jì), 中文操作界面, 使用業(yè)界最新工藝設(shè)計(jì)生產(chǎn), 具有堅(jiān)固耐用, 操作簡(jiǎn)單, 抽氣速度快, 數(shù)據(jù)可靠等特點(diǎn). 伯東公司協(xié)助客戶(hù)選型并提供完善的售后服務(wù).


氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	ASM 340 W	ASM 340 D	ASM 340 I
對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測(cè)模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式
檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動(dòng)時(shí)間 min	3	3	3
對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進(jìn)氣口最大壓力 hPa	25	25	5
前級(jí)泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級(jí)泵
重量 kg	56	45	32

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