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渦輪分子泵 HiPace 400
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渦輪分子泵 HiPace 400

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 400
上海伯東銷售維修德國普發(fā) Pfeiffer 分子泵 HiPace 400, 緊湊設(shè)計(jì), 抽速可達(dá)到 355 l/s 緊湊有力的渦輪分子泵, 進(jìn)氣法蘭 DN 100, 渦輪分子泵通過保護(hù)等級 IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 渦輪分子泵 HiPace 400 高抽速和最大壓縮比, 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境和實(shí)驗(yàn)研究. 通過分子泵控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 400 可選風(fēng)冷或水冷.

渦輪分子泵 HiPace 400 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證

渦輪分子泵 HiPace 400 技術(shù)參數(shù)

分子泵型號

接口 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動(dòng)壓強(qiáng)mbar

極限壓力

全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s

啟動(dòng)時(shí)間

重量

進(jìn)氣口

排氣口

氮?dú)?br /> N2

氦氣He

氫氣 H2

氮?dú)?br /> N2

氮?dú)釴2

hPa

氮?dú)釴2

min

kg

HiPace 400
HiPace 400 P

100

25

355

470

445

> 1X1011

11

< 1X10–7

6.5

2

11.6 – 17.5

HiPace P 系列, 因其能抵抗工業(yè)粉塵和微小粒子而廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域

渦輪分子泵 HiPace 400 抽速

 

 

 

 

 

 

 

 

 

分子泵應(yīng)用 HiPace 400: 廣泛應(yīng)用于各個(gè)真空行業(yè)
鍍膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光學(xué)鍍膜, 硬質(zhì)涂層
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks

上海伯東客戶分子泵應(yīng)用:HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
伯東普發(fā)分子泵 Hipace 80


渦輪分子泵 HiPace 400 尺寸圖

渦輪分子泵 HiPace 400 目前在售型號:
分子泵 HiPace 400,TC 400,DN 100 ISO-K
分子泵 HiPace 400,TC 400,DN 100 CF-F
分子泵 HiPace 400,TC 400,DN 100 ISO-F
分子泵 HiPace 400,TCP 350,DN 100 ISO-K
分子泵 HiPace 400,TCP 350,DN 100 CF-F
分子泵 HiPace 400,TCP 350,DN 100 ISO-F
分子泵 HiPace 400,TC 400,Profibus,DN 100 ISO-K
分子泵 HiPace 400,TC 400,Profibus,DN 100 CF-F
分子泵 HiPace 400,TC 400,Profibus,DN 100 ISO-F
分子泵 HiPace 400 P,TC 400,DN 100 ISO-K
分子泵 HiPace 400 P,TC 400,DN 100 CF-F
分子泵 HiPace 400 P,TC 400,DN 100 ISO-F
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上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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