Atonarp 適用于半導(dǎo)體過(guò)程控制在線質(zhì)譜儀 Aston™
上海伯東代理日本 Atonarp 過(guò)程控制質(zhì)譜儀 Aston™, 通過(guò)使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過(guò)程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!

Aston™ 特性
實(shí)時(shí)過(guò)程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺(tái), 提供實(shí)時(shí), 可操作的數(shù)據(jù)
采用等離子體電離源, 無(wú)燈絲, 更耐用
可與大批量生產(chǎn)工具集成
Aston™ 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái), 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供更高控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Atonarp  Aston™ 技術(shù)參數(shù)

類(lèi)型	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
型號(hào)	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
質(zhì)量分離	四級(jí)桿
真空系統(tǒng)	分子泵	分子泵 隔膜泵	分子泵	分子泵 隔膜泵	分子泵	分子泵 隔膜泵
檢測(cè)器	FC /SEM
質(zhì)量范圍	2-285		2-220		2-285
分辨率	0.8±0.2
檢測(cè)限	0.1 PPM
工作溫度	15-35“℃
功率	350 W
重量	15 kg
尺寸	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp  Aston™ 應(yīng)用: 半導(dǎo)體工藝過(guò)程控制和優(yōu)化的重大發(fā)展, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過(guò)程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測(cè)和控制, 高定量精度和實(shí)時(shí)性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過(guò)渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: 識(shí)別跟蹤分子


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上海伯東: 葉小姐                                   臺(tái)灣伯東: 王小姐
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