全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100
伯東公司日本原裝進(jìn)口全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100, 蝕刻速率 >10(nm/min), 均勻性 ≤±5%, 全自動(dòng)化系統(tǒng)減少人工操作, 保證產(chǎn)品高穩(wěn)定性和高質(zhì)量. 減少因人工操作帶來的損失！

全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 特性
全自動(dòng)化系統(tǒng)
清潔: 鈦用于經(jīng)常暴露于離子束的零件, 以產(chǎn)生低粒子. 晶圓輸送盒采用空氣過濾器.
占地面積小, 方便維護(hù)
10.4英寸觸摸屏
配置德國(guó) Pfeiffer 分子泵.


全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 技術(shù)規(guī)格.

型號(hào)	MEL 3100
樣品數(shù)量尺寸	3”φ-6”φ,1片
晶圓輸送盒	1個(gè), 25 片晶圓
極限真空	8x10-5 Pa
均勻性	≤±5%
蝕刻速率	>10(nm/min) @SiO2

 

伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場(chǎng)經(jīng)驗(yàn), 擁有龐大的安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過市場(chǎng)驗(yàn)證的刻蝕技術(shù)!

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