渦輪分子泵應(yīng)用于角分辨光電子能譜 ARPES
角分辨光電子能譜 Angle resolved photoemission spectroscopy 簡(jiǎn)稱 ARPES 利用光電效應(yīng)研究固體的電子結(jié)構(gòu). 光電子在真空飛行的過(guò)程中, 被一個(gè)接受角度很小的能量分析器收集計(jì)數(shù). 角分辨光電子能譜主要由光源, 電子分析器, 樣品控制臺(tái)以及超高真空的獲得和維護(hù)系統(tǒng)組成. 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 分子泵廣泛配套在真空系統(tǒng)已保證超高真空的獲得, 同時(shí)搭配 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPlus 共同使用.

上海伯東 ARPES 光束線客戶案例: 某光源 ARPES 光束線真空系統(tǒng), 真空系統(tǒng)是同步輻射光束線的重要組成部分, 只有在真空環(huán)境中運(yùn)行, 光學(xué)元件才能夠?qū)⑼捷椛涔鈧鬏數(shù)皆囼?yàn)站, 真空系統(tǒng)的作用就是獲得并維持合理的真空度, 保證光束線的穩(wěn)定運(yùn)行. 此系統(tǒng)搭配伯東 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空規(guī).

真空系統(tǒng)要求 ( 分子泵 ) :
1. 靜態(tài)真空 ( 無(wú)束流 ): 5x10-8 Pa,動(dòng)態(tài)真空(有束流): <5x10-7 Pa
2. 真空系統(tǒng)基本配置: 離子泵 + 無(wú)油分子泵 + 冷陰極真空規(guī)管 + 氣體分析儀

超高真空系統(tǒng)配置:

	渦輪分子泵 HiPace 300 接口: DN 100 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
	渦輪分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
	殘余氣體分析儀 PrismaPro 質(zhì)量數(shù): 1-300 amu 四極桿直徑／長(zhǎng)度: 6 /125 mm 最大工作壓力 F hPa: 5X10-4

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 3000 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸磁懸浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認(rèn)證. 特別適用于質(zhì)譜分析, 電子顯微術(shù), 測(cè)量技術(shù), 粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用. 除了用于分析, 真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外, 還可用于真空鍍膜, 研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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上海伯東: 葉小姐                                   臺(tái)灣伯東: 王小姐
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