上海 渦輪分子泵 HiPace? 1200-2800 IT閱讀數(shù): 22523
Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT, 抽速范圍 1200-2300 l/s 的全系列緊湊型復(fù)合軸承渦輪分子泵, 對小分子量氣體 H2, He 和大分子量氣體 Ar, CF4 都有很高的抽速. 由于這些分子泵通常在惡劣的工藝環(huán)境中使用, Pfeiffer 提供針對具體應(yīng)用的定制解決方案: 例如, 用于抗腐蝕的 Kepla®涂層, 用于防止高壓區(qū)域工藝沉積的溫度管理系統(tǒng), 以及在輻射下使用的外部電子設(shè)備. 對標(biāo) Edwards STP 磁懸浮分子泵
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 特點
小分子氣體的高壓縮比
堅固的復(fù)合轉(zhuǎn)子懸架
對工藝沉積的抵抗力強
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
可用于帶有外部電子設(shè)備的抗輻射泵
溫度管理系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV
防護等級 IP54 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
適用于各種嚴(yán)苛工藝如刻蝕, 濺鍍, 分子泵耐粉塵
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 技術(shù)參數(shù)：
|
分子泵型號 |
分子泵連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動壓強hPa |
極限壓力 |
全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s |
啟動時間 |
重量 |
|||
|
進氣口 |
排氣口 |
氮氣 |
氦氣 |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
|
|
200 |
40 |
1250 |
1300 |
1100 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
27 – 40 |
|
|
HiPace® 1500 C |
250 |
40 |
1400 |
1350 |
1150 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
29 – 41 |
|
200 |
40 |
1450 |
1,650 |
1700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
|
|
250 |
40 |
1900 |
2,000 |
1850 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
34 – 47 |
|
|
HiPace® 2800 IT |
250 |
40 |
2300 |
2900 |
2600 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
18 |
4 |
62 |
HiPace: 憑借成熟和優(yōu)化的軸承系統(tǒng)以及泵速和壓縮比之間的良好組合, 標(biāo)準(zhǔn)的 HiPace 分子泵適用于所有類型的應(yīng)用
HiPace C: 為腐蝕性應(yīng)用而設(shè)計. 得益于轉(zhuǎn)子上的 Kepla®涂層, HiPace C 分子泵對各種工藝化學(xué)品具有一定的抵抗力.
HiPace I: 專為離子注入工藝設(shè)計. 渦輪分子泵復(fù)雜的轉(zhuǎn)子設(shè)計使小分子氣體(氫氣)的抽速得到了優(yōu)化, 確保了離子注入工藝的最佳工藝適應(yīng)性.鎳涂層轉(zhuǎn)子確保了分子泵的堅固性.
HiPace T: 溫度管理系統(tǒng)可以減少工藝沉積的數(shù)量. 通過提高高壓區(qū)的溫度, 可以減少冷凝現(xiàn)象. 該功能可與 C-版本（HiPace CT）相結(jié)合, 以提供對工藝化學(xué)品的耐腐蝕性以及對泵內(nèi)工藝沉積的耐受性.
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 分析儀器 2. 半導(dǎo)體(超高真空排氣臺) 3. 鍍膜 4. 工業(yè) 5. 科研 (粒子加速器)
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>
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