氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體配件檢漏
某專門生產(chǎn)半導(dǎo)體配件公司, 不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè), 因半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻使用要求, 產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 10-9mar l/s, 因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè), 已驗(yàn)收管件是否達(dá)標(biāo). 客戶對(duì)檢漏效率要求較高, 需要在生產(chǎn)線使用且方便移動(dòng)操作, 經(jīng)過上海伯東推薦選擇移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390.

待檢漏產(chǎn)品:

半導(dǎo)體配件檢漏方法: 根據(jù)待檢漏產(chǎn)品特性, 選擇真空法來檢漏, 設(shè)定好漏率值,用檢漏儀直接連接待檢漏配件, 檢漏儀將檢測(cè)配件內(nèi)部的氣體抽到一定的真空度, 然后氦氣通過噴槍吹掃在部件的外表面. 可直觀定位漏點(diǎn), 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng), 符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)！


上海伯東德國 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
針對(duì)大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, ASM 390 對(duì)氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間, 可以加速泄漏檢測(cè)流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間！
檢測(cè)氣體: 4He, 3He, H2
最小檢測(cè)漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對(duì)氦氣的抽速: 10 l/s
前級(jí)泵抽速: 35 m3/h

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