殘余氣體分析質(zhì)譜儀 PrismaPlus--四級桿質(zhì)譜分析儀
上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列，模塊化設(shè)計(jì)，質(zhì)量數(shù)范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內(nèi)置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲，適用于多種測量用途，使用壽命長。

Pfeiffer 四極質(zhì)譜儀 PrismaPlus 主要優(yōu)勢：
1. 模組化設(shè)計(jì)提供了產(chǎn)品最好的適應(yīng)性
2. 結(jié)構(gòu)緊湊，性能出眾
3. 多種介面，系統(tǒng)集成簡單
4. 可通過乙太網(wǎng)網(wǎng)路化
5. 測試過程快速穩(wěn)定，解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設(shè)計(jì)保證最大的可靠性
8. 最低的可檢測分壓達(dá)1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體，操作直觀
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3		QMG 220 M1			QMG 220 M2		QMG 220 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)				電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300		1–100			1–200		1–300
四極桿直徑／長度	6/100 mm
最小檢測極限 F mbar	1X10-12	2X10-12	4X10-12		5X10-12			1X10-11		2X10-11
最小檢測極限 M mbar	-	-	-		1X10-14			< 2X10-14		< 4X10-14
對Ar的靈敏度 F A/mbar	1X10-3	6X10-4	3X10-4		5X10-4			3X10-4		1.5X10-4
對Ar的靈敏度 M A/mbar	-	-	-		200			200		100
最大工作壓力 F	1X10-4 mbar
最大工作壓力 M mbar	-	-	-		1X10-5			1X10-5		1X10-5
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm		< 10 ppm			< 20 ppm		< 50 ppm
操作溫度 F	150 °C
烘烤溫度 F	200 °C / 300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
重量	2.4 kg	2.4 kg		2.4 kg		3.8 kg	3.8 kg		3.8 kg

殘余氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用：四極質(zhì)譜儀 QMG非常適合于檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導(dǎo)體生產(chǎn) 6. 玻璃鍍膜 7. 研發(fā) 8. 真空工藝

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1.設(shè)計(jì)緊湊
PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的完美結(jié)合是 PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點(diǎn)。在適用中客戶將感受到它堅(jiān)固，緊湊的設(shè)計(jì)和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。
2.應(yīng)用范圍廣闊
通過可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀是從品質(zhì)保證，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的最佳方案。
3.檢測速度快，靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀可 以在三個(gè)不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識(shí)別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個(gè)壓力量規(guī)，PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀就可以作為一個(gè)精確的全壓監(jiān)控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺(tái)。結(jié)合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網(wǎng)，數(shù)位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點(diǎn)滑鼠就可以啟動(dòng)預(yù)設(shè)的功能。
 

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀尺寸及配件：


Pfeiffer 氣體質(zhì)譜分析儀：上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心，我司是國內(nèi)最早代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司，100% 原裝進(jìn)口并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。

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