動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT-1010
上海伯東代理 ADEPT-1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì), 是大多數(shù)半導(dǎo)體開發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具. ADEPT-1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀通過(guò)優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng)和超高真空設(shè)計(jì), 提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見雜質(zhì)所需的靈敏度.

PHI 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT-1010 特點(diǎn)
1. 高靈敏度二次離子檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)
2. 懸浮電位離子槍適于淺注入層分析
3. 對(duì)大氣污染物組分具有低檢出限
4. 絕緣體深度分析
5. 高精度自動(dòng)樣品臺(tái)

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT-1010 應(yīng)用場(chǎng)景

ADEPT-1010 非常適合超淺離子注入樣品的深度剖析,  例如右圖顯示的是使用 500V O2離子束對(duì) B元素注入進(jìn)行深度剖析的結(jié)果
ADEPT-1010 的 UHV 設(shè)計(jì)對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)中的大氣污染物提供了低檢出限.
用戶可以使用 SIMetric™ 儀器軟件對(duì)測(cè)試方案進(jìn)行快速編程, 實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守的自動(dòng)分析

上海伯東代理 ADEPT-1010 型四級(jí)桿動(dòng)態(tài) SIMS 采用獨(dú)特的二次離子提取系統(tǒng), 該系統(tǒng)能夠提高二次離子傳輸性能.高的離子傳輸性能提高了深度分析的檢測(cè)限, 使得 ADEPT-1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀能夠出色完成對(duì)離子注入結(jié)構(gòu)的深度和劑量檢測(cè)任務(wù). 這些離子注入過(guò)程中的關(guān)鍵參數(shù)測(cè)試的重復(fù)性精度可以控制在幾個(gè)百分點(diǎn), 符合半導(dǎo)體行業(yè)的需求.

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT-1010 場(chǎng)地和環(huán)境要求

凈重	1,350 kg
裝運(yùn)重量	大約 2,400 kg
實(shí)驗(yàn)室入口尺寸	寬度大于 110 cm, 高度大于 200 cm
電力	200-230VAC, 50/60 Hz,50 A 單相, 需要接地線

ADEPT-1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀的超高真空檢測(cè)環(huán)境有助于對(duì)低濃度大氣污染物進(jìn)行深度剖析, 同時(shí)保持了出色的深度分辨率和低濺射率. 這種檢測(cè)能力對(duì)于高速半導(dǎo)體器件的檢測(cè)信息完整性而言至關(guān)重要.應(yīng)用 SIMetric軟件, 實(shí)現(xiàn)高效快速測(cè)試的同時(shí), ADEPT-1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀能夠自動(dòng)分析分析多個(gè)樣品. 實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守.

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