HVA 高真空閘閥應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
OLED 鍍膜機(jī)主要面向有機(jī)半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能更穩(wěn)定, 器件效率更高, 性價(jià)比高,

HVA 高真空閘閥應(yīng)用
一般科研用鍍膜機(jī)的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求達(dá)到 5*10-7mbar 或 5*10-8mbar, 這時(shí)需要配置分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空度的需求, 所以對(duì)于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會(huì)選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加高真空閥門(mén)來(lái)隔離系統(tǒng).

有時(shí)科研設(shè)備并不配置 LOADLOCK, 但出于泵組快速抽空或方便檢修要求, 還是會(huì)根據(jù)分子泵的進(jìn)氣口徑來(lái)配置高真空閥門(mén)隔離系統(tǒng). 上海伯東美國(guó) HVA 真空閥門(mén)已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)

上圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國(guó) HVA 高真空閘閥, 我司根據(jù)鍍膜系統(tǒng)的自動(dòng)化要求, 配置 HVA 11000 系列尺寸以 4”, 6”, 8”閥門(mén)口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動(dòng)高真空閘閥,
 

上海伯東美國(guó) HVA 高真空閘閥 11000 系列產(chǎn)品

閥門(mén)材質(zhì):
- 閥門(mén)主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門(mén)密封方式
- 高真空	氟橡膠
- 超高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9  mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開(kāi)啟前最大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 佛橡膠密封	150 °c, 可選配置最大 250 °c
- 銅墊圈密封	閥門(mén)關(guān)閉 200 °c, 閥門(mén)打開(kāi) 150 °c
- 驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
- 氣體	80 psig (5.5 bar)
- 電磁	4.0 Watts
- 供電	120 VAC 50 /60 Hz
- 可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz  或 12, 24 VDC
- 位置指示器,最大	115 VAC  或 28 VDC, 20 mA
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑: DN 16 - 800 mm

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