KRI 考夫曼離子源 KDC 160
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,離子能量最強的柵極離子源, 適用于已知的所有離子源應(yīng)用, 離子源 KDC 160 高輸出設(shè)計,最大電流超過 1000 mA. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設(shè)計,標準配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.

KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術(shù)參數(shù)

型號	KDC 160
供電	DC magnetic confinement
- 陰極燈絲	2
- 陽極電壓	0-100V DC
電子束	OptiBeam™
- 柵極	專用, 自對準
-柵極直徑	16 cm
中和器	燈絲
電源控制	KSC 1212
配置	-
- 陰極中和器	Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000
- 安裝	移動或快速法蘭
- 高度	9.92'
- 直徑	9.1'
- 離子束	聚焦 平行 散設(shè)
-加工材料	金屬 電介質(zhì) 半導體
-工藝氣體	惰性 活性 混合
-安裝距離	8-45”
- 自動控制	控制4種氣體

* 可選: 可調(diào)角度的支架

KRI 考夫曼離子源 KDC 160 應(yīng)用
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE

KRi 考夫曼離子源 KDC 160 應(yīng)用于硅片刻蝕系統(tǒng): 批量處理, 行星載臺 4 x 10 片, 刻蝕均勻性 <±5%.


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