ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計
上海伯東代理德國 ph-instruments 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計,  基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子 SRG 技術(shù)開發(fā), 即使在高真空測量應(yīng)用中, 也可以保持 +/- 1% 的讀數(shù)精度, 并且長期穩(wěn)定.


ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計在高真空測量中的優(yōu)勢
長期穩(wěn)定, 無需校準: 讀數(shù)隨時間漂移 <1% 每年
清潔, 對工藝無影響: 沒有內(nèi)在的污染源, 真空計材質(zhì)不銹鋼, 耐腐蝕
測量范圍廣: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應(yīng)用
涂層/污染/溫度/磁場不敏感
快速響應(yīng)時間
自主工作, 結(jié)構(gòu)緊湊, 無故障, 方便系統(tǒng)集成
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設(shè)置和控制,支持數(shù)據(jù)存儲, 24VDC 和電池供電

ph-instruments 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計應(yīng)用(替代離子規(guī)) 
高精度真空計校準系統(tǒng): 提供真空計校準系統(tǒng)或單獨真空規(guī)
低溫真空絕熱:方便集成, 在線監(jiān)測
半導(dǎo)體過程壓力測量（用于反應(yīng)氣體或沉積）: 離子注入, 刻蝕, CVD, PVD 等


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