ph-instruments Dositorr SRG 高真空傳感器離子注入應(yīng)用
上海伯東代理德國 ph-instruments Dositorr SRG 高真空傳感器, 基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表技術(shù), 長期穩(wěn)定 < 每年 1 % 的漂移, 高精度 1 %, 可替代離子注入工藝中的離子規(guī), 解決常規(guī)離子規(guī)經(jīng)常失效, 信號漂移等問題.

Dositorr SRG 高真空傳感器在離子注入工藝中的技術(shù)優(yōu)勢
無漂移: 意味著穩(wěn)定的可重復(fù)真空讀數(shù)
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表技術(shù)的磁懸浮傳感器: 免維護
耐腐蝕, 無污染, 對沉積不敏感
耐磁場, 振動, 高壓和高溫環(huán)境
查看實際壓力讀數(shù), 放氣等
與真空無相互作用: 超潔凈
真空區(qū)無饋通: 全電磁
可更換, 可清洗的傳感器, 減少停機時間, 降低維護成本
查看真實的壓力讀數(shù), 放氣等

Dositorr SRG 高真空傳感器可以替代離子注入工藝中的 ion source 離子規(guī)



上圖是 Implant process 離子注入工藝中的評估比較
離子規(guī) (紅色) 和 Dositorr SRG 高真空傳感器（綠色）壓力讀數(shù)比較. 紅色箭頭指向離子規(guī)的更換. 

Dositorr SRG 高真空傳感器技術(shù)規(guī)格

測量原理	旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表
測量范圍	7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %; 0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1 %
長期穩(wěn)定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	不銹鋼
安裝方式	水平
模擬接口	USB Type C, 藍牙, 15pin
數(shù)字接口	USB, 藍牙, RS 232, RS 485
反應(yīng)時間（快速模式）	1 秒

若您需要進一步的了解 ph-instruments  Dositorr SRG 高真空傳感器, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
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